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紫外暴光、光刻范畴

 

      

        汇博光学消费的大尺寸紫外光学薄膜器件重要用于紫外暴光机体系中,个中紫外反射镜接纳线膨胀系数为(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做为基底,内外面周详数控加工成形,镀造多层硬质氧化物薄膜,产物具有光斑匀称性好、紫外反射率下、使用寿命少等特性,在PCB、平板显现、LED等行业有着普遍的运用。包孕半导体、集成电路、LED、MEMS、TFT、生物器件和纳米科技等家当,个中紫外反射镜接纳线膨胀系数为(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做为基底,内外面周详数控加工成形,镀造多层硬质氧化物薄膜,产物具有光斑匀称性好、紫外反射率下、使用寿命少等特性。

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